LCD的COG組裝過程，是將裸片IC貼裝到ITO玻璃上，利用金球的壓縮與變形來使ITO玻璃上的引腳與IC上的引腳導(dǎo)通。由于精細(xì)線路技術(shù)的不斷發(fā)展，目前已經(jīng)發(fā)展到生產(chǎn)Pitch為20μm、線條為10μm的產(chǎn)品。這些精細(xì)線路電子產(chǎn)品的生產(chǎn)與組裝，對ITO玻璃的表面清潔度要求非常高，要求產(chǎn)品的可焊接性能好、焊接牢固、不能有任何有機與無機的物質(zhì)殘留在ITO玻璃上來阻止ITO電子與IC BUMP的導(dǎo)通性，因此，對ITO玻璃的清潔顯得非常重要。在目前的ITO玻璃清潔工藝中，大家都在嘗試?yán)酶鞣N清洗劑進行清洗，但由于清洗劑的引入，會導(dǎo)致由于清洗劑的引入而帶來其他的相關(guān)問題，因此，探索新的清洗方法成為各廠家的努力方向。通過逐步的試驗，利用
Plasma等離子清洗機的原理來對ITO玻璃進行表面清潔，是比較有效的清潔方法。
在對液晶玻璃進行的等離子清洗中，使用的活化氣體是氧的等離子體，它能除去油性污垢和有機污染物粒子，因為氧等離子體可將有機物氧化并形成氣體排出。它的*問題是需要在去除粒子后加入一個除靜電裝置，其清洗工藝如下：
吹氣--氧等離子體--除靜電
通過干式洗凈工藝后的LCD及其電子ITO，潔凈度、粘結(jié)性得到大大改善。
下面是經(jīng)過Plasma等離子清洗機清洗前后的效果差別:
1、使用設(shè)備: 等離子大氣壓等離子清洗機；氣體:無油干燥空氣
2、將20pcs IC Bump向上放置（粘在黃膠紙上），進行Plasma清洗，然后再將IC正常熱壓到LCD上，進行測試，觀察產(chǎn)品顯示狀況。
3、將23pcs顯示白條，并且未封硅膠的產(chǎn)品，進行Plasma清洗，然后再測試，觀察白條顯示狀況。
4、取2pcs顯示OK的產(chǎn)品，在同一位置裸露的ITO上沾上汗?jié)n，將其中1pcs進行Plasma等離子清洗機清洗，然后產(chǎn)品一起通電，觀察腐蝕狀況。
產(chǎn)品A經(jīng)過等離子清洗，產(chǎn)品B不進行等離子清洗。通過連續(xù)的通電實驗后，情況如下：產(chǎn)品A在通電71.5H時出現(xiàn)*條缺線，通電77H時出現(xiàn)第二條缺線；而產(chǎn)品B在通電4.5H時，顯示缺四條線。
從上面的實驗數(shù)據(jù)可以看出：
1、等離子清洗時產(chǎn)生的靜電不會對產(chǎn)品造成不良；
2、等離子可清洗ITO表面的微量導(dǎo)電臟污，可以改善由于漏電導(dǎo)致的白條現(xiàn)象；
3、等離子清洗可以降低被污染產(chǎn)品的腐蝕速度和腐蝕程度。
從上面的原理分析及實驗數(shù)據(jù)可以得出：Plasma等離子清洗機可用于LCD玻璃及LCD—COG半成品玻璃組裝過程的清洗，來改善產(chǎn)品的質(zhì)量及其穩(wěn)定性。
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